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半導(dǎo)體設(shè)備

BUPERMANN:用于半導(dǎo)體設(shè)備的行星減速機(jī)

半導(dǎo)體加工領(lǐng)域,實(shí)踐證明半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備對螺旋傘齒輪精密伺服減速器要求非常苛刻。

追求高強(qiáng)度、高精度、直角轉(zhuǎn)向、高負(fù)載能力和剛性。

BUPERMANN通過與客戶緊密合作,我們的產(chǎn)品得到了持續(xù)的改進(jìn)。

BUPERMANN90度直角伺服減速器在半導(dǎo)體行業(yè)領(lǐng)域的應(yīng)用優(yōu)勢,能夠按照具體需求提供標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品,進(jìn)行個性化配置,運(yùn)行可靠、精確的解決方案。

半導(dǎo)體設(shè)備應(yīng)用需求

半導(dǎo)體設(shè)備高精度定位、高減速比、90度換向等應(yīng)用,要求螺旋傘齒輪減速機(jī)擁有高減速比的情況且精度高。

我們有適用于半導(dǎo)體設(shè)備的減速機(jī):

BPGV系列AGV專用減速器

  • 減速比

    15-100

  • 額定扭矩

    45-330 Nm

  • 回程間隙

    3-8 arcmin

  • 輸入轉(zhuǎn)數(shù)

    3000-6000 rpm

  • 徑向力

    2250-5500 N

結(jié)構(gòu)尺寸

BPT系列伺服轉(zhuǎn)向器

  • 減速比

    1-5

  • 額定扭矩

    12-3200 Nm

  • 回程間隙

    6 arcmin

  • 輸入轉(zhuǎn)數(shù)

    1700-7500 rpm

  • 徑向力

    900-18000 N

結(jié)構(gòu)尺寸

BPTA系列伺服轉(zhuǎn)向器

  • 減速比

    1

  • 額定扭矩

    20-900 Nm

  • 回程間隙

    10 arcmin

  • 輸入轉(zhuǎn)數(shù)

    1000-2000 rpm

  • 徑向力

    1100-19500 N

結(jié)構(gòu)尺寸

BPTS系列高精密伺服轉(zhuǎn)向器

  • 減速比

    2-5

  • 額定扭矩

    9.5-1200 Nm

  • 回程間隙

    6 arcmin

  • 輸入轉(zhuǎn)數(shù)

    1000-2000 rpm

  • 徑向力

    1100-24100 N

結(jié)構(gòu)尺寸

BPTAW系列直角行星減速器

  • 減速比

    3-100

  • 額定扭矩

    13-1200 Nm

  • 回程間隙

    3-10 arcmin

  • 輸入轉(zhuǎn)數(shù)

    2000-3000 rpm

  • 徑向力

    1100-19500 N

結(jié)構(gòu)尺寸

BPTSM系列高精密伺服直角減速機(jī)

  • 減速比

    2-10

  • 額定扭矩

    9.5-2150 Nm

  • 回程間隙

    4-6 arcmin

  • 輸入轉(zhuǎn)數(shù)

    2000 rpm

  • 徑向力

    1100-45000 N

結(jié)構(gòu)尺寸

BPTSW系列高精密伺服直角減速器

  • 減速比

    6-300

  • 額定扭矩

    9.5-2150 Nm

  • 回程間隙

    3-10 arcmin

  • 輸入轉(zhuǎn)數(shù)

    2000-4500 rpm

  • 徑向力

    1100-45000 N

結(jié)構(gòu)尺寸

BPHN系列中空旋轉(zhuǎn)平臺

  • 減速比

    10-180

  • 額定扭矩

    5-650 Nm

  • 回程間隙

    ≤1 arcmin arcmin

  • 輸入轉(zhuǎn)數(shù)

    ≤20 arcsec rpm

  • 徑向力

    30-800 Kg N

結(jié)構(gòu)尺寸

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